三年！

如果郑振川和林本坚的团队一同协助，一开始就直奔浸润式DUV，那么或许最多三到五年……鸿芯就能推出世界上第一台浸润式DUV光刻机。

想到2003年，自己就能拿到可以卖20年都不会落伍的DUV，苏远山就感觉到有点燥热起来。

那该是多么伟大的一次超越啊……

“不，林，赵团队没有解决光源，但他们有解决镜头的方案。可以实现超越193nm的效果。”

如果郑振川和林本坚的团队一同协助，一开始就直奔浸润式DUV，那么或许最多三到五年……鸿芯就能推出世界上第一台浸润式DUV光刻机。

想到2003年，自己就能拿到可以卖20年都不会落伍的DUV，苏远山就感觉到有点燥热起来。

那该是多么伟大的一次超越啊……

“不，林，赵团队没有解决光源，但他们有解决镜头的方案。可以实现超越193nm的效果。”

面对众人疑惑的眼神，苏远山轻轻地吸了口气。

之所以让郑振川直接就上马浸润式光刻机，自然还是因为他对林本坚有着绝对的信心。

林本坚是工程师，而且还是那种按部就班的、极为老牌和严谨的工程师。他既然能提出浸润式方案，那脑海中就必定有一个大体的解决方案。

而苏远山上次从HK回来时就路过了沪市，专门去看了林本坚罗列出的一个个要解决的技术问题和难点。按照苏远山对工程和光学的浅薄认识来看，这些技术，都不是超越现代工程的技术。

那么这就意味着，浸润式方案，也会如同前世一样，或许两年就能搞出来——把时间再算抛一点，那也就是三年！

第697章 直奔浸润式光刻 (第3/3页)

们这样一惊一乍的，作为鸿芯的负责人，他自然知道林本坚他们的方案，并且自己这边也给出了合作计划。

但苏远山现在说到直接就进行光刻机的研究……

这……是不是走得太快了一点？

所以，郑振川也疑惑地望向苏远山。

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